广州广合科技申请一种降低蚀刻入口结晶度及蚀刻母液波动的子液添加系统专利，保证蚀刻母液的稳定性

金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，广州广合科技股份有限公司申请一项名为“一种降低蚀刻入口结晶度及蚀刻母液波动的子液添加系统”的专利，公开号CN 119172943 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，一种降低蚀刻入口结晶度及蚀刻母液波动的子液添加系统，包括：蚀刻子液缸、蚀刻母液缸、蚀刻输送口、新液洗缸和补偿蚀刻缸，所述蚀刻输送口内设置有结晶去除装置，所述结晶去除装置的输入端与所述蚀刻子液缸的输出口连接，所述结晶去除装置的输出端与所述新液洗缸的第二输入口连接；所述新液洗缸设置有自动抽液装置，所述自动抽液装置的输入端设置在所述新液洗缸内，所述自动抽液装置的输出端与所述蚀刻母液缸的第二输入口连接。本发明保证了蚀刻母液的比重、温度、浓度的稳定性，能有效控制板与板之间的阻抗和线宽差异性；与此同时，降低了高浓度蚀刻母液药水的带出量，降低了环境污染。

来源：金融界