金融界2024年12月30日消息,国家知识产权局信息显示,通威太阳能(成都)有限公司取得一项名为“载板自动清洁装置以及镀膜设备”的专利,授权公告号 CN 222220558 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种载板自动清洁装置以及镀膜设备。载板自动清洁装置包括检测机构、多方位移动机构、吹风机构以及吸尘机构,所述检测机构用于检测镀膜腔室内的载板上脏污位置,所述多方位移动机构用于设置在镀膜腔室内且连接所述吹风机构,所述多方位移动机根据所述检测机构检测后的脏污位置移动所述吹风机构至脏污位置的上方,所述吹风机构用于向镀膜腔室内的载板吹风,所述吸尘机构安装在镀膜腔室上以用于吸取镀膜腔室内的脏污。上述载板自动清洁装置,通过检测机构对载板检测后确定脏污的具体位置,配合吹风机构与吸风机构的清理,能够提高载板脏污清洁效果以及提高清洁效率。
来源:金融界