金融界2024年11月2日消息,国家知识产权局信息显示,瑞声开泰科技(武汉)有限公司申请一项名为“全解耦三轴MEMS陀螺仪及电子产品”的专利,公开号CN 118882620 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本公开实施例提供一种全解耦三轴MEMS陀螺仪及电子产品,陀螺仪包括:基底、固定于基底的X/Y检测质量块、Z检测质量块、驱动结构和Z解耦质量块,X/Y检测质量块环设于Z检测质量块、驱动结构和Z解耦质量块的外侧;Z检测质量块沿x轴方向相对设置;驱动结构沿x轴方向相对设置于Z检测质量块的外侧;Z解耦质量块沿x轴方向相对设置于Z检测质量块的内侧。X/Y检测质量块与其相邻的驱动结构弹性连接,Z检测质量块与其相邻的驱动结构弹性连接,Z解耦质量块与其相邻的Z检测质量块弹性连接。该陀螺仪提高X/Y检测质量块的哥氏转化率,最大化利用芯片面积,降低芯片尺寸和成本,降低耦合误差和正交误差,提高检测精度。
来源:金融界