天创精工申请用于半球谐振子修调的离子束加工装备及方法专利，提高检测精度

金融界2024年11月2日消息，国家知识产权局信息显示，湖南天创精工科技有限公司申请一项名为“一种用于半球谐振子修调的离子束加工装备及方法”的专利，公开号 CN 118882619 A ，申请日期为 2024年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于半球谐振子修调的离子束加工装备及方法，加工设备的真空腔体包括主真空腔体、辅助真空腔体和插板阀，主真空腔体和辅助真空腔体之间相连通且通过插板阀开启和/或关闭连通通道，主真空腔体内通过离子束加工装置对半球谐振子进行加工辅助真空腔体用于半球谐振子进出真空腔体以及便于半球谐振子检测，离子束加工和检测分开在不同腔体内，通过插板阀的开启和/关闭，一方面便于半球谐振子的通行，另一方面隔绝主真空腔体离子束加工后高温环境对辅助真空腔体内半球谐振子的影响，提高检测精度，进一步的，不需要将半球谐振子从真空腔体中取出另外置于另一真空腔体内进行检测，节省了抽放气的时间，提高了生产效率。

来源：金融界