金融界2024年9月15日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州胜利精密制造科技股份有限公司取得一项名为“阴极旋转机构“,授权公告号CN107254670B,申请日期为2017年7月。
专利摘要显示,本发明公开了阴极旋转机构,包括:阴极源总成,安装在真空溅射腔室内壁上;阴极靶筒,一端连接至所述阴极源总成并可沿所述阴极源总成旋转;穿设在所述阴极靶筒内的循环水回水管,其连接至设置在所述阴极源总成上的供水管,且连通至所述循环水回水管与所述阴极靶筒之间的密闭空间,所述密闭空间连通至设置在所述阴极源总成上的出水管;设置在所述循环水回水管外壁上的多个磁铁;及设置在所述阴极靶筒另一端的驱动装置,以用于驱动所述阴极靶筒旋转。本发明提供的阴极旋转机构,结构简单,安全性能好,便于维护。
来源:金融界