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力争2027年量产2nm!日本接收首台EUV光刻机:重达71吨

作者:黑白发布时间:2024-12-19

快科技12月19日消息,据报道,日本初创晶圆代工厂Rapidus已成功接收其订购的首台ASML EUV光刻机,这是日本境内首次引入量产用EUV光刻设备。Rapidus也成为日本首家拥有EUV光刻机的公司,由于EU...【查看原文】


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