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俄罗斯宣布自研EUV光刻机:比ASML更便宜、更容易制造!

发布时间:2024-12-19

快科技12月19日消息,据报道,俄罗斯已公布自主开发EUV(极紫外光刻)光刻机的路线图,目标是比ASML的光刻机更便宜、更容易制造。据悉,俄罗斯的自主光刻机采用11.2nm的激光光源,而非ASML标准...【查看原文】


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