常州维普半导体设备取得掩模安全交互传输结构专利，能够提高掩模传输的安全性

金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，常州维普半导体设备有限公司取得一项名为“一种掩模安全交互传输结构”的专利，授权公告号 CN 222214145 U，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种掩模安全交互传输结构，它包括工装、执行部件、第一Y向传感器、第二Y向传感器、第三Y向传感器、第一Z向传感器和第二Z向传感器；其中，所述工装上设有用于放置掩模的放料工位，所述执行部件上具有用于托住掩模的托料部，所述执行部件用于连接在机械手上，所述机械手与控制器相连，所述第一Y向传感器连接在所述执行部件上，所述第二Y向传感器和所述第三Y向传感器均连接在所述工装上，所述第一Z向传感器连接在所述执行部件上，所述第二Z向传感器连接在所述工装上。本实用新型能够提高掩模传输的安全性，避免传输掩模时出现偏差，减少传输过程中掩模被磕碰和落板的风险，提高掩模传输的安全等级。

来源：金融界