无锡卓海科技取得一种晶圆映射机构专利，能够避免剐蹭晶圆

金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆映射机构”的专利，授权公告号 CN 222214129 U，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本实用新型属于半导体检测技术领域，公开了一种晶圆映射机构。该晶圆映射机构包括机架、上托板、在位检测组件、反射传感器与驱动机构。上托板设于机架，在位检测组件设于上托板，驱动机构在在位检测组件检测到晶圆容器放置于上托板后，带动位于驱动机构输出端的反射传感器沿晶圆容器高度方向移动进行晶圆检测。该晶圆映射机构能够通过使用反射传感器进行晶圆映射，反射传感器可以与晶圆间隔设置，从而避免剐蹭晶圆；同时通过设置在位检测组件及驱动机构，使驱动机构在在位检测组件检测到晶圆容器放置后，带动反射传感器沿晶圆容器高度方向移动，对晶圆进行检测完成晶圆映射，即可在晶圆容器放置后自动完成晶圆映射，减少人工操作，更加方便快捷。

来源：金融界