东莞晟鼎取得一种等离子体均匀分布的气体分流装置专利，能实现等离子体均匀分布
金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司取得一项名为“一种等离子体均匀分布的气体分流装置”的专利，授权公告号CN 222214109 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种等离子体均匀 分布的气体分流装置， 包括进气接头、等离子 体生产室、承托板以及 匀气装置，所述等离子 体生产室安装于承托板 上方，所述匀气装置安 装于承托板下方，所述 进气接头、等离子体生 产室、承托板以及匀气 装置依次连通，所述等 离子体生产室内部设有 分流块，所述分流块将 进气接头进行包覆，所 述匀气装置下方设有用于放置晶圆的聚拢环。
来源：金融界
