敦仪科技取得晶圆旋干组件专利，能让使用者在操作时带来方便及效率

金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，敦仪科技股份有限公司取得一项名为“晶圆旋干组件”的专利，授权公告号 CN 222214118 U，申请日期为 2024 年 2 月 。

专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆旋干组件，包含旋转架、至少两摇篮、至少两重量检知装置以及处理器。旋转架配置以绕第一轴线旋转。摇篮分别枢接旋转架并配置以容置晶篮。重量检知装置与旋转架彼此分隔，重量检知装置分别配置以至少部分支撑摇篮中对应的一者，从而分别测量出重量值。处理器信号连接重量检知装置，并配置以计算重量值之间的差异。晶圆旋干组件能简单容易地让使用者在启动晶圆旋干组件前能可靠地得知晶篮是否达到较佳的重量平衡，故在操作上能为使用者带来方便及效率。

来源：金融界