ICT半导体集成电路测试有限公司取得像差校正器和带电粒子束装置专利，提升装置的性能

金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，ICT半导体集成电路测试有限公司取得一项名为“像差校正器和带电粒子束装置”的专利，授权公告号 CN 222214110 U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，像差校正器和带电粒子束装置。所述像差校正器包括第一多个磁性元件，每个磁性元件包含磁极和用于向所述磁极提供磁场的对应磁棒。第一多个磁性元件包括至少第一磁性元件，所述第一磁性元件包括第一磁极；第一磁棒，具有与第一磁极相邻的近端和与近端相对的远端；所述近端具有尖端，所述尖端具有为半球体形状的尖端表面；以及所述尖端表面的接触点接触第一磁极。

来源：金融界