金融界2024年12月16日消息,国家知识产权局信息显示,布勒莱宝光学设备(北京)有限公司取得一项名为“一种射频等离子激发装置”的专利,授权公告号 CN 222147871 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型属于射频等离子激发技术领域,尤其涉及一种射频等离子激发装置,包括外壳,所述外壳内部安装有电离室,所述电离室顶部连接有栅网,所述外壳内部设置有线圈,所述外壳底部左右两侧通过螺钉连接有支架。该射频等离子激发装置,通过线圈出水管与外壳冷却水管进水口连接,射频线圈在真空室内与外壳接地,避免射频在真空室外接地,造成射频外发对人体造成伤害,解决了背景技术中提出的射频水冷和外壳水冷分开,不但多需要一组进水穿墙法兰座,还会让进去的射频能量在线圈和外壳之间产生耗损,使用时外壳需要接地,不稳定,且进入离子源的射频,在线圈上耦合以后,出到真空室外,会有射频外放的风险造成人体伤害问题。
来源:金融界