海拓创新申请静电卡盘制造方法专利，实现高洁净静电卡盘外部边缘气体密封环和晶片组成的非活性气体气氛空间

金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，海拓创新技术（杭州）有限公司申请一项名为“种静电卡盘的制造方法”的专利，公开号 CN 119153287 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种静电卡盘的制造方法，静电卡盘包括静电卡盘主体、电介质、电极组、金属基座；其制造步骤如下：步骤一：金属基座实现内部非活性气体通道和冷却液道的完成；步骤二：静电卡盘主体上，气体通道上下贯通三个气体通道孔，并与晶片和边缘气体密封环相通；步骤三：静电卡盘主体上，冷却通道横向贯通冷却液输入口和冷却液输出口；通过外部系统控制冷却液的温度和流速以达到平衡静电卡盘主体温度的作用；步骤四：晶片搭载在电介质后，正负电极组施加直接高压晶片被吸附在置于电介质的边缘气体密封环和微凸台之上。本发明具有实现高洁净静电卡盘外部边缘气体密封环和晶片组成的非活性气体气氛空间。

来源：金融界