拉普拉斯新能源取得炉管组件以及反应炉专利，提高待加工材料表面生成的沉积薄膜的一致性
金融界2024年11月16日消息，国家知识产权局信息显示，拉普拉斯新能源科技股份有限公司取得一项名为“炉管组件以及反应炉”的专利，授权公告号CN 222008034 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请提供了一种炉管组件以及反应炉，涉及半导体或光伏材料加工领域，解决了待加工材料表面生成的沉积薄膜的一致性较差的技术问题。该炉管组件应用于反应炉，反应炉包括加热腔体，炉管组件设置于加热腔体内，其中，炉管组件包括：内炉管，内炉管包括相邻的匀流腔和反应腔，匀流腔具有多个进气孔，多个进气孔被配置为向匀流腔通入工艺气体，匀流腔与反应腔之间具有第一气孔，第一气孔连通匀流腔与反应腔，以供匀流腔内的气体进入反应腔。由于工艺气体通过第一气孔的速度较慢，从而使工艺气体可以先在匀流腔内充分均匀，再通过第一气孔流入反应腔，提升了工艺气体的混合均匀度，从而能够提高待加工材料表面生成的沉积薄膜的一致性。
来源：金融界
