无锡君捷电子取得特征尺寸电子显微镜传送系统专利，能够避免晶圆拍摄时偏移

金融界2024年12月26日消息，国家知识产权局信息显示，无锡君捷电子科技有限公司取得一项名为“一种特征尺寸电子显微镜传送系统”的专利，授权公告号 CN 222203889 U，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本实用新型公开一种特征尺寸电子显微镜传送系统，涉及显微镜传送装置领域。该特征尺寸电子显微镜传送系统包括显微镜主体与底端的观测头，显微镜主体的底端设置有传送单元。该特征尺寸电子显微镜传送系统通过在传送单元顶端一侧设置限位板能够对需要传送的晶圆进行限位的作用，使传送的晶圆能够处于观测头的正下方，避免在拍摄的过程中，晶圆出现偏移的情况，影响对晶圆拍摄检测的情况，同时在双向螺杆与驱动件的配合，能够根据晶圆的尺寸对两侧的限位板进行调节，能够对不同尺寸的晶圆进行限位的作用，同时，便于对限位单元将其拆卸，使传送单元能够对不同的物体进行传送，不影响传送单元的正常使用。

来源：金融界